真空蒸着

乾式プロセスとしてもっとも簡単な成膜方法の一つ。真空中で加熱によって材料を気化させ、被覆したい物体表面にコートする技術。加熱には抵抗加熱、電子線加熱、高周波あるいはレーザ加熱がある。